Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных - фтор, трехфтористый азот или бор. Новые технологии «Росэлектроники» призваны заместить зарубежные материалы, которые использовались в производстве микроэлектронных изделий
– исполнительный директор Ростеха Олег Евтушенко.
НПП «Салют» создало уникальные технологии для производства различных газов, необходимых для микроэлектронной отрасли, включая моносилан, арсин, фосфин, аммиак и два вида бора.
Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства
— генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.
Чтобы сохранить степень чистоты материалов пришлось разработать отдельное решение. Специальная подготовка баллоно, предложенная специалистами НПП «Салют», позволяет сохранять сверхчистый газ от 6 до 12 месяцев.
