Технология Unisers обеспечит новый уровень производительности в сложной задаче обнаружения посторонних чрезвычайно мелких частиц, которые портят чипы при производстве. Об этом рассказал Али Алтун, исполнительный директор и основатель Unisers.
Крошечная частица, попадающая на кремниевую пластину, из которой изготавливаются чипы, может привести к неисправности. Причём проблема может быть обнаружена только в конце сложного производственного процесса. Таким образом, обнаружение частиц вскоре после того, как они загрязняют пластины, экономит деньги. А поскольку чипы становятся всё быстрее, и их схемы — всё меньше, частицы меньших размеров становятся всё большей проблемой.
Мы единственная компания, которая может обнаружить эти чрезвычайно маленькие, менее 10 нанометров, частицы на пластине
— Али Алтун, исполнительный директор и основатель Unisers.
Технология в оборудовании по борьбе с пылью — первый продукт Unisers. Али Алтун сказал, что в процессе на пластины наносится специальное покрытие, чтобы частицы лучше проявлялись при отражении света.
Пор поводу методов на сайте стартапа пояснили, что предлагают уникальный процесс, основанный на физическом нанесении покрытия на тестовую пластину и быстром оптическом контроле. Покрытие необходимо для улучшения сигнала путём создания оптического резонанса вокруг частиц. Разработчики используют комбинационное рассеяние света с улучшенной поверхностью для обнаружения частиц и определения их размера и местоположения. Кроме того, усиленное комбинационное рассеяние света используется для получения спектров отдельных дефектов для выяснения химической характеристики.
Средства в стартап инвестировала Intel Capital, венчурное подразделение корпорации Intel, чтобы помочь вывести технологию на рынок. Управляющий директор Intel Capital Дженнифер Ард заявила, что полупроводниковой промышленности необходимо всё больше работать над тем, чтобы избежать загрязнения материалов. И пояснила, что при производстве речь идёт о столь мелких посторонних примесях, что известные оптические и другие привычные методы уже непригодны.
Технология Unisers также направлена на обнаружение примесей в материалах, другого источника дефектов.
